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Wichert, Torsten
Publikationen
Forschung
durchgeführte Projekte
- Entwicklung eines Ionenmobilitätsspektrometrie- und Photoionisations- Technologie basierten Echtzeitmesssystems zum empfindlichen Nachweis schädlicher Verunreinigugnen in der Wasserstoff- und Brennstoffzellen-Technologie Projekt
- Entwicklung eines MEMS-basierten Ionenmobilitätsspektrometers für die Detektion flüchtiger organischer Stoffe Projekt
- Entwicklung intrumenteller Methoden zum Echtzeitmonitoring von Airborne Molecular Contamination (AMC) bei der Herstellung und Strukturierung von Wafern auf der Grundlage der Ionenmobilitätsspektrometrie und GC-Photoionisation Projekt
- Erarbeitung von Verfahren zur Identifikation und Analyse der Deckungsgenauigkeit bei der Wafer-Lithografie (Overlay) sowie Entwicklung von Korrekturmethoden durch den Entwurf eines Plugins mit Interpolationsverfahren für einen Run-to-Run-Prozesscontroller Projekt
- Gefahrstoff-Probenahme mit unbemannten Flugsystemen (CBRN_UAS_PROBE) Projekt
- Grundlegende Entwicklung für die Detektion flüchtiger organischer Stoffe mittels MEMS basiertem Ionenmobilitätsspektrometer (DoSIs) Projekt
- Softwareentwicklung für IMS Projekt
Kontakt
vollständiger Name
- Torsten Wichert
Postanschrift
-
Friedrich-List-Platz 1, ZAFT
Dresden
01069
Germany
weitere E-Mail-Adressen
- torsten.wichert@htw-dresden.de
Telefon
- 0049 351 462 2304
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- Kontaktdaten
- 0049 351 462 2304