Die Herstellung von mikroelektronischen Bauteilen ist eine der heutigen Schlüsseltechnologien. Dabei kommt den nasschemischen Ätzprozessen eine essentielle Bedeutung zu. In der vorliegenden Dissertation wir der Ätzprozess von Silicium in konzentrierten Flusssäure-Salpetersäuregemischen eingehend untersucht. Die neu gewonnenen Erkenntnisse helfen den bislang nur unzureichend geklärten Ätzmechanismus besser und genauer zu beschreiben.