Mikrooptoelektromechanische Systeme (MOEMS) sind Kernelemente adaptiver optischer Mikro-systeme und werden als Mikrospiegel und -optiken in der Telekommunikations-, Display- und Sensor-technik eingesetzt. Die Adaption bzw. Positionierung der beweglichen Elemente wird durch elektro-statische Auslenkung einer beweglichen Membran ermöglicht und stellt einen präzisen, raum- und energiesparenden elektrischen Antrieb dar. Nachteile finden sich in der aufwendigen Fertigung des miniaturisierten 3D-Aufbaus der MOEMS, welcher eine aufwendige hybride Fertigung durch Foto-lithografie- und Ätzverfahren benötigt. Weiterhin besitzen MOEMS ungenügende Integrations-möglichkeiten für Farbstoffe, wie sie für organische optische Mikrokavitäten benötigt werden.
Das Ziel dieser Arbeit besteht in der Konzipierung einer innovativen Antriebslösung für adaptive Spiegelschichten in optischen Mikrosystemen, welche die Nachteile herkömmlicher MOEMS überwinden sollte. Das Vorhaben soll durch Metallisierung von Silikongeldünnschichten und der Entwicklung einer kompakten und monolithischen Multischichtarchitektur mit integrierten, miniaturisierten Dünnfilmaktoren auf Basis dielektrischer Elastomeraktoren (DEA) realisiert werden. Die deformierbaren bzw. stellbaren Elektroden der Aktoren sind multifunktional und können als adaptive Spiegel in optischen Mikrosystemen angewandt werden. In dieser Arbeit sollen daher von der Materialentwicklung über die Aktortechnologie bis zu den optischen Anwendungen der adaptiven Spiegelschichten mehrere Schwerpunktfelder bearbeitet werden.